JZJLG型螺桿真空泵產(chǎn)品簡介

JZJLG型真空機組是以ZJ型或ZJP型羅茨真空泵為主泵或中間泵，以VPS螺桿真空泵為前級泵的成套高真空獲得設(shè)備，其結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便。機組除了主泵及前級泵或中間泵外，還包括連接管道、不銹鋼波紋管、電接點壓力表和電氣控制箱等附件。一般羅茨真空泵和螺桿真空泵安裝在同一機架上（大型機組除外），具體見“機組外形尺寸”部分。

JZJLG型螺桿真空泵產(chǎn)品說明

目前機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統(tǒng)被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級VPS螺桿泵起動后開始對系統(tǒng)進行預(yù)抽,當系統(tǒng)壓力（即羅茨泵進氣口處壓力）達到允許羅茨泵啟動的設(shè)定壓力（即電接點壓力表綠針所指壓力值）時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發(fā)生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現(xiàn)羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現(xiàn)過載和過熱而導(dǎo)致機組發(fā)生故障。

干式螺桿真空泵由于其*的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。

JZJLG型機組配套形式及主要技術(shù)性能指標

注:1，機組的極限壓力是指用麥氏真空計測得的空氣分壓力值,用熱偶真空計測得的全壓力值應(yīng)比極限壓力小半個到一個數(shù)量級。

2，機組的zui大抽氣速率是指在機組主泵的入口壓力在約1～100 pa工作條件下測得的實際抽速。